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檢測晶舟的位置和(hé)角度 、測量晶圓盤的間距

發布時(shí)間：2024-01-06 訪問量：550 來(lái)源：本站(zhàn)

1、分兩個工(gōng)位

2、工(gōng)位一識别晶舟的位置和(hé)角度

3、工(gōng)位二識别晶圓盤的間距（2個相機，遠心鏡頭）

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